薄膜厚度测量系统
Thin Film Thickness Measurement System
快速、准确、无损、灵活、易用、性价比高
产品简介：
TF200薄膜厚度测量系统利用薄膜干涉光学原理，对薄膜进行厚度测量及分析。用从深紫外到近红外可选配的宽光谱光源照射薄膜表面，探头同位接收反射光线。TF200根据反射回来的干涉光，用反复校准的算法快速反演计算出薄膜的厚度。测量范围1nm-3mm，可同时完成多层膜厚的测试。对于100nm以上的薄膜，还可以测量n和k值。
应用领域：
半导体（SiO2/SiNx、光刻胶、MEMS，SOI等）
LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亚酰胺ITO等)
LED (SiO2、光刻胶ITO等）
触摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率测试等)
汽车(防雾层、Hard CoatingDLC等）
医学（聚对二甲苯涂层球囊/壁厚药膜等）
产品的优势
应用案例（数据可靠）
薄膜厚度测量系统技术参数
| 型号 | Delta-VIS | Delta-DUV | Delta-NIR |
| 波长范围 | 380-1050nm | 190-1100nm | 900-1700nm |
| 厚度范围 | 50nm-40um | 1nm-30um | 10um-3mm |
| 准确度1 | 2nm | 1nm | 10nm |
| 精度 | 0.2nm | 0.2nm | 3nm |
| 入射角 | 90° | 90° | 90° |
| 样品材料 | 透明或半透明 | 透明或半透明 | 透明或半透明 |
| 测量模式 | 反射/透射 | 反射/透射 | 反射/透射 |
| 光斑尺寸2 | 2mm | 2mm | 2mm |
| 是否能在线 | 是 | 是 | 是 |
| 扫描选择 | XY可选 | XY可选 | XY可选 |
注：1.取决于材料0.4%或2nm之间取较大者。
2.可选微光斑附件。