白光干涉测厚仪是一种新型的表面形貌测量方法，能够实现对样品表面形貌的三维测量。它通过扫描定位被测样品表面各点的干涉位置得到表面各点相对高度，重构表面三维轮廓，实现对样品表面三维形貌的测量。
白光干涉测厚仪的优势：
测量精度高、速度快，稳定性好。
①使用高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频。
②以光波长为测量单位，分辨率可达nm级。
③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度快。
④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度。
⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变。
白光干涉测厚仪的设备亮点：
1、差值算法
同点测量应用时，X射线测厚仪不能使用简单的面密度差值算法，X射线测厚仪的差值算法，精准的将净涂布量的面密度计算出来。
2、探头
采用低能量的X射线，核心部件进口，污染、环保豁免、寿命长。X光束的能量可以通过调节加速电压来优化测量范围。
3、驱动、通讯
采用高精度伺服电机，定位精度高，重复性好，速度闭环控制功能；
采用无延时实时网络通讯，信号采样周期10ms，几台测厚仪做同点测量时，确保几台测厚仪的扫面路径一致
4、扫描架
O型扫描架，采用钢板一体折弯而成，不易变形，全封闭式设计。